SMC常閉型高真空電磁閥 XSA 
●追加內螺紋型（Rc, NPT） [New]
●低使用壓力：1×10-6Pa(abs)
●漏電量：內部1.3×10-9Pa·m3/s，外部1.3×10-11Pa·m3/s
●備有2種接頭
●消耗電力：大削減25%
●質量：削減18% 0.5kg→0.41kg

作用編輯
1.開關氣路，當閥1和閥4關閉，閥2打開時，機械真空泵Ⅲ對容器I抽真空，氣流流經預真空抽氣管路；當閥2關閉，閥4打開時，機械泵可單獨對擴散泵抽真空；當閥1和閥4同時打開時，擴散泵和機械泵可同時工作，對容器進行抽空，此時氣流流經擴散泵。可見，閥門在這種操作中的作用是開關氣路，改變氣流的流經路線。

2.控制氣流大小，調節真空度在圖中，調節閥1的閥蓋開啟角度，即可調節流經管路的氣流量大小；關閉閥2和閥4，通過放氣閥3可以給機械泵Ⅲ的入口放成大氣；通過放氣閥5可以調節容器內的真空度。
3.定量充氣，在玻璃閥的柱塞上有個一定體積的小洞，當小洞轉向右邊和高壓氣瓶連通時，小洞中就可充滿高壓氣體；當它轉向左邊和真空容器連通時，就把該體積的高壓氣體放進容器中去，這樣就起到了定量充氣的作用。

SMC常閉型高真空電磁閥 XSA